يتكون المجهر الإلكتروني من عدة أجزاء رئيسية، تختلف قليلاً باختلاف نوعه (نفاذية أو مسح)، لكنها تتشارك في مكونات أساسية. فيما يلي الأجزاء الرئيسية للمجهر الإلكتروني :

1. مصدر الإلكترونات (Gun):

يُنتج شعاعًا من الإلكترونات. عادة ما يكون هذا مصدراً حراريًا (مصعد حراري) أو مصدرًا انبعاثًا ميدانيًا.

2. عدسات إلكترومغناطيسية:

تُركز شعاع الإلكترونات على العينة. تختلف أنواع العدسات:

*

عدسة مكثفة (Condenser Lens):

تُتحكم في شدة وشكل شعاع الإلكترونات قبل اصطدامه بالعينة.
*

عدسة الشيئية (Objective Lens):

تُركز الشعاع بعد تفاعله مع العينة، وتُكوّن الصورة الأولية.
*

عدسة العينية (Projector Lens):

تكبر الصورة الأولية وتُعرضها على شاشة أو تُسجّل على فيلم.


3. نظام تفريغ الهواء (Vacuum System):

ضروري جدًا لضمان عدم تشتت شعاع الإلكترونات بواسطة جزيئات الهواء. ينتج عن ذلك صورة أوضح.

4. عينة (Specimen):

الشيء الذي يُراد فحصه. يُجب تحضيرها بشكل مناسب قبل الفحص، وقد تحتاج إلى معالجة خاصة (مثل التثبيت والصبغ).

5. أجهزة الكشف (Detectors):

تكتشف الإلكترونات التي تتفاعل مع العينة، وتُحول الإشارة إلى صورة. تختلف أنواع أجهزة الكشف حسب نوع المجهر:

*

مجاهر إلكترونية نافذة (TEM):

تستخدم أجهزة كشف لقياس شدة الإلكترونات التي تمر عبر العينة.
*

مجاهر إلكترونية مسح (SEM):

تستخدم أجهزة كشف لقياس الإلكترونات المنتشرة (backscattered electrons) أو الإلكترونات الثانوية (secondary electrons) المُنتجة عند تفاعل شعاع الإلكترونات مع سطح العينة.

6. نظام التحكم (Control System):

يسمح للمستخدم بالتحكم في جميع جوانب المجهر، مثل شدة شعاع الإلكترونات، والتركيز، والمسح، وما إلى ذلك.

7. وحدة عرض (Display Unit):

تعرض صورة العينة. قد تكون شاشة كمبيوتر أو فيلم.

8. نظام تسجيل البيانات (Data Acquisition System):

يسجل الصورة و البيانات الأخرى.


هذه الأجزاء الأساسية، وهناك أجزاء إضافية أخرى حسب نوع المجهر الإلكتروني وميزاته، مثل:

*

مُسخّن عينة:

للتحكم في درجة حرارة العينة.
*

مُبرد عينة:

لإبقاء العينة باردة.
*

مُحرك عينة:

لتحريك العينة في اتجاهات مختلفة.


يُعتبر المجهر الإلكتروني أداة معقدة، وتتطلب عملياته خبرة و تدريبًا متخصصين.